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光貿易株式会社
〒113-0034
東京都文京区湯島3-13-8
湯島不二ビル301
電話番号:03-3832-3117
FAX番号 :03-3832-3118
Nano Smith社
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■メーカーの紹介
Nano Smith社ではナノメータ精密のミラーマウントやステージを製造しています。
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■超精密マイクロ/ナノミラーマウント NM90-MMT
2軸で2段調整のミラーマウントです。
●特徴
・精密,粗調整用の2種類のネジ
・±3度の粗調整
・2μラジアンの精密調整 |
●用途
・レーザーキャビティー調整
・干渉測定
・ナノメータ計測 |
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仕様 |
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ファインチューニング |
2μrad/回転、銀色ネジ |
調整範囲 |
6度(0.3度/回転、赤色ネジ) |
重量 |
0.5 kg |
許容負荷 |
0.1 kg |
寸法 |
90 mm x 90 mm x 60 mm |
材質 |
アルミ合金、アルマイト処理 |
ミラー口径 |
1/2 インチ, 1 インチ又は2 インチ用有り |
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■超精密ナノメータステージ NX85-3040S
機械式超精密ステージです。
●特徴
・放電加工による単一ステンレス鋼構造
・摩擦無しガイド構造
・ロール・ピッチ・ヨーが無視できるレベル
・手動(電動製品も有り) |
●用途
・ナノメータ計測
・レーザーキャビティー調整
・干渉測定
・ウェハー、マスクの位置決め |
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仕様 |
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分解能 |
40 nm/目盛り |
移動範囲 |
30 μm |
重量 |
1 kg |
許容負荷 |
3 kg |
寸法 |
130 mm x 66 mm x 23 mm |
材質 |
ステンレス |
ガイド機構 |
摩擦無し |
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