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光貿易株式会社

〒113-0034
東京都文京区湯島3-13-8
湯島不二ビル301
電話番号:03-3832-3117
FAX番号 :03-3832-3118

Nano Smith社


Nao Smith

メーカーの紹介
Nano Smith社ではナノメータ精密のミラーマウントやステージを製造しています。


■超精密マイクロ/ナノミラーマウント NM90-MMT


2軸で2段調整のミラーマウントです。

 

●特徴
・精密,粗調整用の2種類のネジ
・±3度の粗調整
・2μラジアンの精密調整

●用途
・レーザーキャビティー調整
・干渉測定
・ナノメータ計測


超精密マイクロ/ナノミラーマウント
仕様
ファインチューニング
2μrad/回転、銀色ネジ
調整範囲
6度(0.3度/回転、赤色ネジ)
重量
0.5 kg
許容負荷
0.1 kg
寸法
90 mm x 90 mm x 60 mm
材質
アルミ合金、アルマイト処理
ミラー口径
1/2 インチ, 1 インチ又は2 インチ用有り

 

■超精密ナノメータステージ NX85-3040S

 

機械式超精密ステージです。

 

●特徴
・放電加工による単一ステンレス鋼構造
・摩擦無しガイド構造
・ロール・ピッチ・ヨーが無視できるレベル
・手動(電動製品も有り)

●用途
・ナノメータ計測
・レーザーキャビティー調整
・干渉測定
・ウェハー、マスクの位置決め


超精密ナノメータステージ
仕様
分解能
40 nm/目盛り
移動範囲
30 μm
重量
1 kg
許容負荷
3 kg
寸法
130 mm x 66 mm x 23 mm
材質
ステンレス
ガイド機構
摩擦無し