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光貿易株式会社

〒113-0034
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湯島不二ビル301
電話番号:03-3832-3117
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Cygnus Photonics社


Cygnus Photonics社

メーカーの紹介
Cygnus Photonics社は、フォトリソグラフィーシステム用や電子機器、バイオメディカル用のUV/VUV光源の製造会社として米国イリノイ州に設立されました。このUV/VUV光源は波長172nm/222nm/308nmでフラットかつ薄型の高効率な光源でタイル状に配置して1m2の大面積を均一に照射することもできます。また172nmの光源は真空中で動作させる必要が無く非常に優れたコストパフォーマンマンスを提供いたします。フォトリソグラフィ用途では8インチウェハープロセス用モジュール式露光ツールを提供しており300mmウェハー用ツールを開発中です。

 

■π-Photon新世代UV光源

 

π-Photon新世代UV光源   π-Photonは全く新しいVUV光源です。高出力と高い均一性を両立しコンパクトなボディに収めたマイクロプラズマ技術を応用した光源です。波長は172nm/222nm/308nmです。効率的な光源、電気回路、パッシブクーラー、内部パージシステム(パージが必要なのは172nmのみ)など駆動に必要な構成部品をコンパクトなボディに収めてます。12V電源アダプターを、また172nmはパージガスソースを1/4”Quick-connectフィッティングで接続するだけでπ-Photonは照射準備完了です。用途は高解像度フォトグラフィー、光アブレーション、光分解/光触媒、表面エネルギー改質、オゾン生成、低損傷原子レベル表面洗浄、薄膜接着性の向上、選択的表面改質/変換など。標準品の仕様はこちらにございます。

 

■X-Cube堅牢性に優れた設計の産業用光学エンジン

 

X-Cube堅牢性に優れたVUV光源   A-Cubeは堅牢性に優れた産業用途用VUV/UV光源です。主な仕様は50W以下の低消費電力、波長172/222/308nm、強度20mW/cm2以上(172nmにて)、開口径92x92mm(3.62インチx3.62インチ)、2000時間以上の長寿命、均一な強度分布、既存システムへの容易な統合など。

 

■π2-Cygniリソグラフィーシステム用VUVモジュラー光源


R-Flexモジュール/光源付き光波面センサー   高出力と均一性を両立し汎用性に優れた、波長172nmの全く新しいモジュラーVUV光源です。発光効率が良くパージシステムが内蔵されておりパッシブ冷却で使用できます。ドライバーも内蔵されており12V出力のACアダプターとパージガスソースを1/4インチquick-connectで接続するだけでオペレーションの準備は完了です。

 

■A-Lineマニュアルアライメントシステム


ユニバーサルアライメントシステム   A-Lineはゼロベースで設計された汎用性の高い手動アライメントおよび露光システムです。Cygnus Photonics社のπ-Photon 172nm露光光源などと組み合わせ既存のアライメントシステムでは難しい有機ポリマーへの直接イメージングなどが可能になります。A-LineはMEMS、バイオエンジニアリング、ライフサイエンスといったアプリケーションに最適です。

 

 

π-Photon新世代UV光源

π-Photon新世代UV光源
 
π-Photon新世代UV光源
 
spacer    
●π-Photon
新世代UV光源
●小型低価格
新世代UV光源
●小型高分解能低価格
新世代UV光源

・波長:172nm
・出力強度:>10mW/cm2
・FWHM:8.9nm
・発光面サイズ:42x42mm
・発光面強度分布:<3%
・暖気時間:<2秒
・電源:DC12V
・パージガス:
ドライ窒素、アルゴン
・フローレート:
0.3 - 1scFM(8.5 - 28L/min)
・ランプ寿命:>3000h

・波長:222nm
・出力強度:>1mW/cm2
・FWHM:3.2nm
・発光面サイズ:42x42mm
・発光面強度分布:<3%
・暖気時間:<2秒
・電源:DC12V
・パージガス:不要
・ランプ寿命:>2000h

・波長:308nm
・出力強度:>1mW/cm2
・FWHM:6.5nm
・発光面サイズ:42x42mm
・発光面強度分布:<3%
・暖気時間:<2秒
・電源:DC12V
・パージガス:不要
・ランプ寿命:>1000h